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微污染防治,聖凰有OHB充氣、晶圓載具改造商機 Dec 2025(全)

By Harris, 4 十二月, 2025

  聖凰科技(代號 7880)創立於 2005 年的台灣新竹,目前資本額 2.65 億元,現有員工 130 人,工廠位於台中科學園區的台中大雅區。公司主力產品做微污染防治(purge)設備,特別專注在「先進製程上」微污染防治應用。聖凰指出,產業界之前 40 、28 奈米製程時代,微污染防治只能算設備段「一個配角」。但隨著晶圓大廠台積電2330)將半導體製程推進到 2、1 奈米等先進製程上,微污染防治變成了「主角」,甚至轉變為重要的必備標準化設備。

  就設備廠人員編制,聖凰約百餘位員工人數不算多。半導體因為進入先進製程,聖凰也會跟著先進製程在走;未來隨著下游先進製程進步,人員可望再視市場需要而做機動性擴充。

天車是晶圓廠的晶圓片起重系統,是台積電落實自動化物料搬運系統 AMHS 的重要設施,聖凰並提供其中微污染防治設備

聖凰介入 6 種設備,應用在晶圓與封裝不同處理應用:

  聖凰設備產品包括了

① 全自動 OHB/STB 氮氣全自動填充設備;
② 獨立型 FOUP/FOSB 氮氣填充設備;
③ 晶圓載具(晶圓盒)自動載入/載出氮氣充填設備;
④ 自動化倉儲系統晶圓載具防污染設備;
⑤ 8吋/12吋晶圓與光罩載具之電子貨架系統;
⑥ VOCs 氣體量測設備整合系統(偏檢測儀器)。

  • ※ 這裡的 STB 是指 Site Track Buffer,功能與 OHB(Overhead Hoist Buffer)的 Under Track Buffer(軌道下(空中)緩衝暫存倉庫)所在的位置相近。

  這六項產品皆圍繞在微污染防治領域,只是個別應用設備用於晶圓廠內「位置不同」的區別。這六大項設備基本上功能都是在微污染防治。這裡的「氮氣充填」,是指在裝上晶圓的容器中充滿氮氣(N2),使其保持乾燥並提供保護來防止晶圓氧化、防止晶圓被污染;因此算是微污染防治(purge)的產業,國內做 purge 的同業還有華景電(6788)。

聖凰 2021、22 年打入日本市場,2025 年興建台中大肚新廠:

  就公司重要沿革與業務開發過程上,2006 年進入晶圓廠天車系統,2007 年開發了 12 吋晶圓盒載具嵌入充氣模組(Embedded-N2)污染防治設備並導入半導體大廠;2021 年打開國際客戶在日本廣島先進製程市場,2022 年則進一步進入另一客戶熊本廠。公司最新的進展,是 2025 年下半年新工廠台中大肚廠動工、初步預計 2026 年底左右完工。

  由於客戶包含台灣、美國等重要客戶,聖凰據點與業務布局走得是全球化。先以台灣本地市場來說,公司在台中、新竹、台南、高雄都設立分公司。聖凰跟隨晶圓廠客戶與產業聯盟夥伴德鑫半導體聯盟,在國外的中國南京、深圳,日本熊本跟廣島,還有將爭取客戶在美國亞利桑那州的接單商機,評估德國的晶圓廠也會是未來『潛在』的市場。

產業知識 → OHT(天車運送)與 OHB(空中緩衝暫存倉庫)系統搭配;以台積電使用情境為例:

  上述可看出聖凰設備包含 OHB (天花板附近的小倉庫/緩衝站)用的氮氣全自動填充設備,此設備通常是跟天車(OHT)設備商是一起運作的。為了讓會員對這兩個系統有初步認知,特別整理出以下使用簡要情境及表格比對:

簡單來說,OHB 與 OHT 兩者搭配配合的;以簡化版情境來看(以 300mm Fab 為例):

  1. 主 stocker / tower 把 FOUP 晶圓盒交給 OHT 車。
  2. OHT 在天花板◎軌道上跑很長一段路,往目標製程區前進◎
  3. 到某個製程區附近時,
    • 如果製程機台還沒空 → 先把 FOUP 放到旁邊的 OHB(空中暫存架/Under Track Buffer)。
    • 如果機台馬上要:OHT 直接把 FOUP 放到 load port 或 near-tool buffer。◎英文專利說明◎
  4. 機台快處理完時,系統下指令:
    • 從 OHB 把下一批 FOUP 送到工具前,排隊等上機。

這樣做的 3 個好處:

  • 主 OHT 軌道不用一直在同一台機台前等,把 FOUP 丟到 OHB 就可以離開去跑別的任務。
  • OHB 靠近設備,縮短 FOUP 從「等候位」到「load port」的幾十秒~幾分鐘時間,降低 queue time(降低製程時間上的限制)。
  • 如果 OHB 上又有 N2 purge(氮氣吹掃),還能延長 Q-time,對先進製程更重要。◎同業華景電中文說明◎
項目 OHT system OHB system
全名 Overhead Hoist Transport Overhead Hoist Buffer / Over Head Buffer
中文慣稱 天車系統、懸吊式自動搬運車 天車上/下方的空中暫存架、緩衝倉庫
主要功能 在天花板軌道上「搬運」FOUP/晶圓盒 在軌道附近「暫存/緩衝」FOUP,有時兼 N2 purge
型態 會在軌道上跑的自走車 固定在軌道下方或旁邊的架子/mini stocker
主要指標 車速、載重、同時車數、路徑最佳化 容量(幾 slot)、距設備距離、是否有 N2、對 queue time/Q-time 的改善
關係 Fab 的「交通網」主角 交通網旁邊的小停車場+保養場
     

  本篇全篇文章聖凰 問與答 2025 年興櫃登錄後〕有 1 字頭高位數討論,分為營運(談後續的產能策略)、市場(競爭同業,如何待看先進製程裡聖凰取得一定市占)、產品(OHB 充氣設備與微污染防治改造設備的探討)、財務(2026 成長性討論、客戶貢獻度等)等 4 個面向。以市場相關的 33% 最高,財務相關討論的 28% 比例居次。

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(一)公司營運方向與基本架構:

  1. 半導體從前段 Fab 生產到後段封裝與先進封裝的 CoWoS、POPLP 等需求,也凸顯前段的先進製程重要性逐步提升。
  2. 經營團隊在半導體產業(如後段的封封測試,以及晶圓廠、晶圓製造、記憶體製造等公司服務)有豐富的經驗。
  3. 公司從 2005 年迄今專注「微污染防治」領域;雖然服務產業單一化,但微污染牽涉到客戶其先進製程的「良率提升」,地位重要。
  4. 尤其在 7、10 奈米以下先進製程,微污染防治重要性提升。
  5. 公司組織架構,除了管理處與財務處之外,主要分為營運處(原料需求與生產排程)、業務處、國際處(評估中國大陸業務)、資訊部等部門。
  6. 並設有「研發部門」;公司研發部再下轄機構、電控跟軟體。研發人員有 27 位,佔員工總數約兩成。
    • 微污染防治行業,重視晶圓廠的技術發展與開屋經驗,因此聖凰在研發加強。
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