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美日晶圓廠廢棄量算初期,立盈等海外投資時機 Mar.2026(增)

By Harris, 26 三月, 2026

  立盈環保(代碼 7820)跟已上市櫃的廢棄物處理公司模式不同。要了解立盈服務與業務,首先需先從半導體晶圓製程說起:晶圓廠生產製程(包括擴散、薄膜/研磨、黃光與蝕刻/去光阻、晶圓清洗等製程;參考 2026 年三月份公開簡報第 14 頁),需要投入不同化學品如「氫氟酸、氟化氫」(供應商有新應材、台特化等),這些氫氟酸及相關氟系特化品佔了所有化學品 30%;這些製程將會產生「廢氫氟酸」等氟化鈣污泥等廢棄物,就是由立盈環保協助處理

立盈環保為半導體廠處理氟化鈣污泥(左),以廢棄物所得的 CaF2來生產人造螢石(右)
美日晶圓廠廢棄量算初期,立盈等海外投資時機 Mar.2026(增)

半導體製程用大量氟化氫後、產生的「廢氫氟酸」廢棄物待處理:

  ※ 內文第(一)節以文字來說明,為何製程中需使用多種化學品,且跟立盈的技術服務所產生關係,藉由文字說明,讓會員更為清楚其業務的來由;也建議可搭配公開簡報圖表。

美日晶圓廠廢棄量算初期,立盈等海外投資時機

  法人解讀立盈有以下價值:① 客戶持續在新竹、高雄、台中等廠進入更先進製程,讓廢氫氟酸污泥的處理成為剛性需求。節點越先進製程,廢棄物處理量會較之前製程再提升數倍。② 營運動力從原本的母廠平鎮廠,向外拓展到中科零廢中心與南科創生中心。③ 提供廢棄物處理技術服務有一筆收入之外,其廢棄物同步帶來了人造螢石的上游原料,等於銷貨收入(螢石)的材料無需花額外成本採購,營運模式佳。 

  本篇增補文章〔立盈環保 2026 年第一季、第二季 IPO 前問答〕有接近 1 字頭討論,分為 2 大面向,分別是財務相關營收及會計探討),產業與近期市況循環經濟上螢石應用及產業變化)等。以財務相關各佔 67% 最高。

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(一)半導體製程與立盈業務的關係:

  1. 半導體製程裡,氫氟酸大量使用原因。矽晶圓進廠後,先經過簡單研磨後,要上一層二氧化矽(SiO2)。
  2. 只是二氧化矽是一個具立體結構的絕緣體,需要加入「氫氟酸」來破壞SiO2 立體結構,以形成晶圓代工廠要的電路圖。
  3. 不同奈米(由 28 奈米 → 進步到 3 奈米、2 奈米)等,所使用的氫氟酸也有不同粒徑大小,以適配合適節點。
  4. 做出電路設計、堆疊數層的電路;讓氫氟酸把 SIO2 做線路劃開工作。每做一次線路劃開,氫氟酸就必須回收一次。
    • 這是整個半導體製程裡,氫氟酸用量會這麼多的原因。
    • 那立盈來講,製程節點越精細,線路堆疊越多,對公司廢棄物處理業務越有利。立盈協助半導體產業裡用過氫氟酸回收,並再利用。
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