聖凰科技(代號 7880)做微污染防治(purge)設備,特別專注在「先進製程上」微污染防治應用。聖凰指出,下游客戶主要在晶圓代工廠與記憶體晶圓廠,涉入的市場除了台灣,以美國、日本、還有中國市場等,未來視客戶的建廠進度也有機會進入歐洲。
晶圓製造之前在成熟的 40 、28 奈米製程時代,微污染防治只能算設備段「一個配角」。但隨著晶圓大廠台積電(2330)將半導體製程推進到 2、1 奈米等先進製程上,微污染防治變成了「主角」,甚至轉變為重要的必備標準化設備,也是華景電通、京鼎集團,還有創控、濾能等公司陸續成為 AMC 微污染防治供應鏈的原因。
聖凰介入 6 種設備,應用在晶圓與封裝不同處理應用:
聖凰設備產品包括了
① 全自動 OHB/STB 氮氣全自動填充設備;
② 獨立型 FOUP/FOSB 氮氣填充設備;
③ 晶圓載具(晶圓盒)自動載入/載出氮氣充填設備;
④ 自動化倉儲系統晶圓載具防污染設備;
⑤ 8吋/12吋晶圓與光罩載具之電子貨架系統;
⑥ VOCs 氣體量測設備整合系統(偏檢測儀器)。
- ※ 這裡的 STB 是指 Site Track Buffer,功能與 OHB(Overhead Hoist Buffer)的 Under Track Buffer(軌道下(空中)緩衝暫存倉庫)所在的位置相近。
這六項產品皆圍繞在微污染防治領域,只是個別應用設備用於晶圓廠內「位置不同」的區別。這六大項設備基本上功能都是在微污染防治。這裡的「氮氣充填」,是指在裝上晶圓的容器中充滿氮氣(N2),使其保持乾燥並提供保護來防止晶圓氧化、防止晶圓被污染;因此算是微污染防治(purge)的產業,國內做 purge 的同業還有華景電(6788)。
產業知識 → OHT(天車運送)與 OHB(空中緩衝暫存倉庫)系統搭配;以台積電使用情境為例:
上述可看出聖凰設備包含 OHB (天花板附近的小倉庫/緩衝站)用的氮氣全自動填充設備,此設備通常是跟天車(OHT)設備商是一起運作的。為了讓會員對這兩個系統有初步認知,特別整理出以下使用簡要情境及表格比對:
簡單來說,OHB 與 OHT 兩者搭配配合的;以簡化版情境來看(以 300mm Fab 為例):
- 主 stocker / tower 把 FOUP 晶圓盒交給 OHT 車。
- OHT 在天花板◎軌道上跑很長一段路,往目標製程區前進◎。
- 到某個製程區附近時,
- 如果製程機台還沒空 → 先把 FOUP 放到旁邊的 OHB(空中暫存架/Under Track Buffer)。
- 如果機台馬上要:OHT 直接把 FOUP 放到 load port 或 near-tool buffer。◎英文專利說明◎
- 機台快處理完時,系統下指令:
- 從 OHB 把下一批 FOUP 送到工具前,排隊等上機。
這樣做的 3 個好處:
- 主 OHT 軌道不用一直在同一台機台前等,把 FOUP 丟到 OHB 就可以離開去跑別的任務。
- OHB 靠近設備,縮短 FOUP 從「等候位」到「load port」的幾十秒~幾分鐘時間,降低 queue time(降低製程時間上的限制)。
- 如果 OHB 上又有 N2 purge(氮氣吹掃),還能延長 Q-time,對先進製程更重要。◎同業華景電中文說明◎。
| 項目 | OHT system | OHB system |
| 全名 | Overhead Hoist Transport | Overhead Hoist Buffer / Over Head Buffer |
| 中文慣稱 | 天車系統、懸吊式自動搬運車 | 天車上/下方的空中暫存架、緩衝倉庫 |
| 主要功能 | 在天花板軌道上「搬運」FOUP/晶圓盒 | 在軌道附近「暫存/緩衝」FOUP,有時兼 N2 purge |
| 型態 | 會在軌道上跑的自走車 | 固定在軌道下方或旁邊的架子/mini stocker |
| 主要指標 | 車速、載重、同時車數、路徑最佳化 | 容量(幾 slot)、距設備距離、是否有 N2、對 queue time/Q-time 的改善 |
| 關係 | Fab 的「交通網」主角 | 交通網旁邊的小停車場+保養場 |
本篇聚焦文章〔聖凰 問與答 2025 年興櫃登錄後〕達 1 字頭討論,分為營運(談後續的產能策略)、市場(競爭同業,如何待看先進製程裡聖凰取得一定市占)等 2 個面向。以市場相關的 60% 最高,市場討論 40% 比例居次。
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(一)公司營運方向與基本架構:
- 半導體從前段 Fab 生產到後段封裝與先進封裝的 CoWoS、POPLP 等需求,也凸顯前段的先進製程重要性逐步提升。
- 經營團隊在半導體產業(如後段的封封測試,以及晶圓廠、晶圓製造、記憶體製造等公司服務)有豐富的經驗。
- 公司從 2005 年迄今專注「微污染防治」領域;雖然服務產業單一化,但微污染牽涉到客戶其先進製程的「良率提升」,地位重要。
- 尤其在 7、10 奈米以下先進製程,微污染防治重要性提升。
- 公司組織架構,除了管理處與財務處之外,主要分為營運處(原料需求與生產排程)、業務處、國際處(評估中國大陸業務)、資訊部等部門。
- 並設有「研發部門」;公司研發部再下轄機構、電控跟軟體。研發人員有 27 位,佔員工總數約兩成。
- 微污染防治行業,重視晶圓廠的技術發展與開屋經驗,因此聖凰在研發加強。