維修服務累積研發 know how，明遠精密開發射頻電源、臭氧供應、電漿源等半導體副系統：
明遠精密（代碼 7704）藉由多年替晶圓廠服務，了解第一代射頻電源（RF Power）系統 ETO 有使用上痛點，而開發了明遠自家 ACME 電源系統。透過替客戶維修經驗，明遠先後開發出臭氧供應、射頻電源、電漿源等半導體關鍵組件副系統產品。
多家半導體設備所使用第一代 ETO 射頻電源系統有缺點，明遠遂於 2017 年與日本京三合作開發第三代產品，兩年後的 2019 年正式獲得半導體採用該射頻電源系統 Finesse ACME，是重要里程碑；迄 2023 年 ACME 累計超過 100 套。2019 年還開發了 RPS 遠程電漿源系統（Remote Plasma Source），豐富產品線。2021 年研發原子層沉積製程（ALD）的小型臭氧供氣系統 AOS（ALD ozone system）。
公司願景方面，明遠兼日揚科技（代碼 6208）董事長寇崇善說，廿多年來台灣已成為半導體王國並發明了晶圓代工模式。然而在產業鏈上，台灣的「製程設備類」研發能量還是相對少。知名半導體製程設備（如顯影、薄膜、蝕刻、擴散製程）仍由國際大廠如艾司摩爾 ASML、美商應材（代碼 AMAT）、東京威力科創 TEL（東證代碼: 8035）、◎科林研發 Lam Research◎主導。協助製程設備的關鍵零件廠則有主攻監測、控制氣體的美商萬機科技（MKS）及真空解決方案與閥門專家的瑞士◎VAT 偉拓科技◎ ，以及◎艾儀科技◎。明遠工程處副總潘彥儒表示，公司每年約 5% 比例用於研發上，開發的 ACME 產品算是第三代產品，更能夠為半導體客戶節省能源。
明遠 3 項副系統/關鍵組件的用途、製程階段與競爭力：
簡報將半導體設備供應鏈拆成 3 個區塊：「製程設備」、「關鍵組件（副系統）」與「技術服務」產業。關鍵組件所做的是真空 Pump、射頻電源、電漿源（RPS）、氣體流量計、氣壓計等副系統與感測器，皆為搭配主要「製程設備」所用的副系統，也是明遠精密產品項目之一。
為讓會員了解現況，不同於明遠公司簡報定位標記，我們內文的配圖有做修正；讓您可以更精確掌握明遠跟供應鏈廠商「競」、「合」關係。該競合關係，會列在本篇【問與答】之後的第（六）段落。找出適當的 “競合”關係，有助了解其業績脈絡，及未來該跟哪些公司對比。
此外，在沒有解說輔助下看公開上傳簡報，相信多數人還是對明遠精密 3 項副系統/關鍵零件（臭氧系統、電漿源系統、射頻電源系統）用途？用在製程哪一階段？還有競爭力？還是一頭霧水。「沒問題，交給 verkita！」，我們將於簡報畫面上，以手寫文字輔以圖示做解說，讓您有效率地了解法說會內容。
半導體關鍵組件產值千億，明遠攻射頻Power、電漿源 2023 Dec