本篇為興櫃 7Q25 訂閱文章(實際時間今年十二月中旬起頭,應會跨越到 2026 年一、二月)。第一篇產業文章,討論 AMC 微污染防治產業,因先進製程對污染物濃度的容忍度正在快速「下降」,對微量污染物的高度敏感性使得控制標準更加嚴苛。特別在 2 奈米以下的應用皆為高單價晶圓,用於 GPU 與 TPU 等 AI 晶片上,對於 AMC 的微污染防治也是多管齊下,在晶圓無塵室環境、在晶圓儲存與運輸設備裡、在重要關鍵光刻機等前段製程設備裡,皆需掌控微污染防治。
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plus-1《微污染 AMC 防治用在FOUP/OHB天車,提升晶圓良率 2025》